气路备件
说明 | 规格 | 使用 | 单位 | 7700 部件号 | 7500 部件号 |
带内套管的等离子体/辅助管线 | 0.2m | 2/包 | G3280-67023 | ||
等离子气路/辅助气路的接头,PTFE | 6mm和4mm | 用于到炬管的气路连接 | 各1个 | G1820-65027 | G1820-65027 |
用于载气/辅助气/混合气气路的内套管 | CTFE | 用于将气路管线连接到接头 | 5/包 | 5042-0922 | |
等离子气路的内套管 | CTF | E用于将气路管线连接到接头 | 5/包 | 5042-0923 | |
载气/补充气/稀释气体管 | G3280-67022 | ||||
用于稀释气体端口的气体连接器 | 用于连接稀释气体线到稀释端口 | 0100-2583 | |||
氩气管组件包 | 1/4英寸外径,5m, 内套管,接头 | 用于外部管线 | G1820-65023 | ||
载气/混合气的管线,PTFE | 3mm内径, 4mm外径,35cm | 用于连接雾化器的气路管线 | 2/包 | G1833-65414 | |
等离子体和辅助气路管线 | 3.17mm内径, 6.35mm外径,35cm (用于等离子体) 2.38mm内径, 3.96mm外径,35cm (辅助气体) | 用于到炬管的气路连接 | 2/包 | G3270-65021 | |
氩气增湿器 | G3270-80029 | G3270-80029 | |||
氩气过滤器 | G1820-80341 | G1820-80341 | |||
氩气清洗气过滤器 | 半导体应用 | 5064-8092 | 5064-8092 | ||
用于7700x/e的氩气管路组件包 | 用于外部管线 | G3280-60160 | |||
用于7700s的氩气管组件包 | 用于外部管线 | G3280-60163 | |||
不锈钢管 | 外径1/8英寸,6米 | 用于外池气路 | G3270-65035 | G3270-65035 |
说明 | 部件号 |
三联过滤柱,用于超净气体净化系统,底盘型 | 5182-9705 |
用于气体过滤器的更换O-型圈,8/包,两种尺寸,每种尺寸4个 | 5182-3423 |
说明 | 部件号 |
氦气的调压表 | 0101-1398 |
氢气调压表 | 0101-1399 |
氩气调压表 | 0101-1400 |
用于NH3/氦气的调压表 | 5188-5374 |
说明 | 规格 | 使用 | 7500部件号 |
用于端盖帽和气路管线的接头 | 用于将气路连接到雾化器 | 5063-5263 | |
等离子气路/辅助气路的接头,PTFE | 6mm和4mm | 用于到炬管的气路连接 | G1820-65027 |
载气气路的接头,PTFE | 4mm管线,包括密封圈和O-形圈 | 连接Babington雾化器的气路管线 | G1820-65214 |
用于载气气路的接头,聚丙烯 | 4mm管线,包括密封圈和O-形圈 | 用于将气路连接到同轴雾化器 | G1820-65052 |
混合气气路的接头,聚丙烯,2/包 | 4mm管线 | 用于连接交叉流到Babington雾化器的气路管线 | G1820-65119 |
补充气路的接头,聚丙烯 | 4mm管线,Luer型 | 用于连接交叉流到Babington雾化器的气路管线 | G1833-65477 |
两通接头 | 4mm管线 | 用于PFA同轴雾化器 | 5064-8078 |